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二维激光跟踪转台轴系设计及动态形变误差修正

霍汉林 王劲松 王国名 李根梓 周维虎

光学精密工程2024，Vol.32Issue(14)：P.2200-2210,11.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(14)：P.2200-2210,11.DOI:10.37188/OPE.20243214.2200

二维激光跟踪转台轴系设计及动态形变误差修正

霍汉林 1王劲松 1王国名 2李根梓 3周维虎2

作者信息

  • 1. 长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022
  • 2. 中国科学院微电子研究所,北京100094 中国科学院大学,北京100049
  • 3. 雁栖湖基础制造技术研究院(北京)有限公司,北京101407
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摘要

关键词

激光跟踪仪/二维激光跟踪转台/轴系精度/动态形变误差/光学自准直

分类

机械制造

引用本文复制引用

霍汉林,王劲松,王国名,李根梓,周维虎..二维激光跟踪转台轴系设计及动态形变误差修正[J].光学精密工程,2024,32(14):P.2200-2210,11.

基金项目

国家重点研发项目(No.2022YFB3403800) （No.2022YFB3403800）

吉林省重点科技研发项目(No.20180201025GX)。 （No.20180201025GX）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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