超声膨胀纳米团簇束流沉积SnO2薄膜的氢敏性能研究OA
氢能源发展如火如荼,氢燃料电池、高压储氢等技术蓬勃发展,但氢气传感器发展却相对落后,主要原因是现有制备手段难以获得兼具小晶粒尺寸和高疏松度的敏感薄膜。论文采用超声膨胀团簇束沉积技术制备了高度疏松的氧化锡薄膜,并研究了退火温度对其表面形貌、结晶度、晶粒尺寸以及化学组分的影响。结果表明,未退火样品氧含量低对氢气没有响应。250℃退火样品为非晶薄膜且保持了较高的疏松度,因此对氢气响应最快且幅值最高,但电阻过高难以实用。500℃退火样品表面吸附氧物种过多…查看全部>>
叶建民;乔智鸿;李盈;赵蒙
苏州科技大学物理科学与技术学院,江苏苏州215009苏州科技大学物理科学与技术学院,江苏苏州215009苏州科技大学物理科学与技术学院,江苏苏州215009苏州科技大学物理科学与技术学院,江苏苏州215009
计算机与自动化
氢气传感器SnO_(2)超声膨胀团簇束沉积退火样品氢敏性能
《苏州科技大学学报（自然科学版）》 2024 (3)
P.28-35,8
国家自然科学基金项目(11974304,12074282)江苏省高等学校自然科学基金项目(21KJA460008)苏州市科学技术研究项目(SYG202140)。