苏州科技大学学报（自然科学版）2024，Vol.41Issue(3)：P.28-35,8.DOI:10.12084/j.issn.2096-3289.2024.03.004
超声膨胀纳米团簇束流沉积SnO2薄膜的氢敏性能研究
摘要
关键词
氢气传感器/SnO_(2)/超声膨胀团簇束沉积/退火样品/氢敏性能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
叶建民,乔智鸿,李盈,赵蒙..超声膨胀纳米团簇束流沉积SnO2薄膜的氢敏性能研究[J].苏州科技大学学报（自然科学版）,2024,41(3):P.28-35,8.基金项目
国家自然科学基金项目(11974304,12074282) （11974304,12074282）
江苏省高等学校自然科学基金项目(21KJA460008) （21KJA460008）
苏州市科学技术研究项目(SYG202140)。 （SYG202140）
