西安工程大学学报2024，Vol.38Issue(4)：P.42-48,55,8.DOI:10.13338/j.issn.1674-649x.2024.04.006
衬底温度对TiCuN薄膜红外发射性能的影响
摘要
关键词
TiCuN薄膜/磁控共溅射/衬底温度/电阻率/红外发射率分类
矿业与冶金引用本文复制引用
徐洁,陈鲸朴,吴奇帅,卢琳琳,王铎..衬底温度对TiCuN薄膜红外发射性能的影响[J].西安工程大学学报,2024,38(4):P.42-48,55,8.基金项目
陕西省自然科学基础研究-面上项目(2023-JC-YB-476,2023-JC-YB-471)。 （2023-JC-YB-476,2023-JC-YB-471）
