光学精密工程2024，Vol.32Issue(14)：P.2247-2255,9.DOI:10.37188/OPE.20243214.2247
多光谱硫化锌光学窗口离子束抛光工艺研究及参数优化
摘要
关键词
硫化锌/离子束抛光/去除函数/工艺优化/极差分析分类
化学化工引用本文复制引用
蔡根,朱蓓蓓,秦琳,张楚鹏,陈肖..多光谱硫化锌光学窗口离子束抛光工艺研究及参数优化[J].光学精密工程,2024,32(14):P.2247-2255,9.基金项目
硬脆光学元件激光辅助超精密加工机理与工艺(No.IMETKF2023008) （No.IMETKF2023008）
现代制造质量工程湖北省重点实验室开放基金资助(No.KFJJ-2022006)。 （No.KFJJ-2022006）
