多光谱硫化锌光学窗口离子束抛光工艺研究及参数优化OA北大核心CSTPCD
多光谱硫化锌因其在近、中、远红外等多个光谱波段具有较高的光学透率,广泛应用于红外光学制导导引头、光电探测雷达、机载光电吊舱。为了获得超高面形精度的多光谱硫化锌光学元件,并提高离子束抛光效率,采用正交实验方法对硫化锌进行离子束单点刻蚀实验,获取各工艺参数下的去除函数特征量及体积去除率。通过对正交实验数据进行直观法分析和极差法分析,以体积去除率最大为目标进行工艺参数优化,获得的优化工艺参数组合为:离子束流电压1100 V、射频功率110 W、加速电压…查看全部>>
蔡根;朱蓓蓓;秦琳;张楚鹏;陈肖
现代制造质量工程湖北省重点实验室,湖北工业大学,湖北武汉430068上海航天控制技术研究所,上海201109上海航天控制技术研究所,上海201109现代制造质量工程湖北省重点实验室,湖北工业大学,湖北武汉430068现代制造质量工程湖北省重点实验室,湖北工业大学,湖北武汉430068
化学工程
硫化锌离子束抛光去除函数工艺优化极差分析
《光学精密工程》 2024 (14)
P.2247-2255,9
硬脆光学元件激光辅助超精密加工机理与工艺(No.IMETKF2023008)现代制造质量工程湖北省重点实验室开放基金资助(No.KFJJ-2022006)。
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