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偏振可调谐式剪切干涉的大畸变波前实时重构OA北大核心CSTPCD

中文摘要

为了实现对大畸变波前的实时测量,基于紧凑稳定的剪切干涉结构,提出一种偏振式单帧波前重构方法,有效克服传统横向剪切需要两幅或以上的图像梯度整合缺陷,实时重构大畸变待测样本波前的形貌。以无限共轭模型为理论基础进行仿真分析,对生成的大畸变波前样本进行计算重构,验证该优化算法的可行性。在此基础上,搭建双平面镜可调谐剪切干涉共轭结构,结合偏振器件,以分辨率目标靶作为待测对象,对所提算法进行实验验证,实现入射光场波前的实时条纹分离和波前重构。实验结果表明,所提单帧波前法重构样本波面的均方根误差为60 nm,算法运行时间有效提升至0.11 s。所提偏振剪切式光学设计以及单帧波前重构算法,作为一种自干涉剪切方法,无需多幅图像的重建程序,简化横向剪切干涉的实验结构,提高宏微观样本三维形貌的检测效率,在光学定量相干干涉测量领域具有一定的应用潜力。

卞点;骆雅婷;侯登峰;罗哉;

中国计量大学计量测试与仪器学院,浙江杭州310018

物理学

剪切干涉波前检测大畸变实时重构偏振调控

《光学精密工程》 2024 (015)

P.2325-2333 / 9

国家自然科学基金资助项目(No.52075511)。

10.37188/OPE.20243215.2325

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