表面技术2024，Vol.53Issue(18)：P.144-155,12.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.18.012
工艺参数对浸没式直流介电泳辅助化学机械抛光蓝宝石晶片的影响
摘要
关键词
介电泳效应/化学机械抛光/蓝宝石晶片/工艺参数/抛光垫/有效磨料数/加工效果分类
矿业与冶金引用本文复制引用
黄展亮,柏显亭,潘继生,阎秋生..工艺参数对浸没式直流介电泳辅助化学机械抛光蓝宝石晶片的影响[J].表面技术,2024,53(18):P.144-155,12.基金项目
国家重点研发计划(2023YFE0204400) （2023YFE0204400）
国家自然科学基金(52075102) （52075102）
广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515010922)。 （2023A1515010922）
