太赫兹科学与电子信息学报2024，Vol.22Issue(9)：P.1038-1043,6.DOI:10.11805/TKYDA2022248
与硅微器件集成的MEMS皮拉尼计
秦宜峰 1刘振华 1施志贵 1张青芝 1熊壮1
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621999
- 折叠
摘要
关键词
真空检测/皮拉尼计/硅微器件/圆片级真空封装分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
秦宜峰,刘振华,施志贵,张青芝,熊壮..与硅微器件集成的MEMS皮拉尼计[J].太赫兹科学与电子信息学报,2024,22(9):P.1038-1043,6.
