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基于聚焦离子双束电镜的透射电镜微柱试样制备

高倩雯 李怡雪 冯丹 史学芳

理化检验(物理分册)2024,Vol.60Issue(9):P.30-33,4.
理化检验(物理分册)2024,Vol.60Issue(9):P.30-33,4.DOI:10.11973/lhjy-wl240170

基于聚焦离子双束电镜的透射电镜微柱试样制备

高倩雯 1李怡雪 1冯丹 1史学芳1

作者信息

  • 1. 西北工业大学分析测试中心,西安710072
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摘要

关键词

微柱/聚焦离子双束电镜/透射电镜试样/Pt沉积层/L形切

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

高倩雯,李怡雪,冯丹,史学芳..基于聚焦离子双束电镜的透射电镜微柱试样制备[J].理化检验(物理分册),2024,60(9):P.30-33,4.

理化检验(物理分册)

1001-4012

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