芯片研制用微纳米尺度温度测量方法及其展望OA北大核心CSTPCD
The Methods and Prospects of Temperature Measurement for Chip Development in Micro-nano Meter Scale
微纳米尺度温度测量,提供微小尺度区域的高精度温度信息.然而现有的测温技术无法满足芯片性能日益提升的需求,例如以热电偶等为代表的接触式测温具有较高的测量精度,但其响应速率慢难以实现宽场热成像;以红外辐射等为代表的非接触式测温可实现芯片表面的快速热场测量,但测温精度较低、空间分辨率受到波长的限制.因此传统测温方法难以同时满足高精度、微纳米尺度的快速温度测量,亟需寻求新的测温技术.随着量子精密测温技术的发展,基于固态量子自旋效应的金刚石带负电的氮-空位…查看全部>>
Temperature measurement in micro-nano meter scale provides high-precision temperature information in tiny areas.The current temperature measurement technology is unable to meet the increasing performance demands of chips.Traditional contact temperature measurement methods such as thermocouple have high precision,but slow response rate,it is difficult to achieve wide field thermal imaging.Non-contact methods such as infrared radiation can achieve rapid therma…查看全部>>
吴飞翔;邢力;冯晓娟;张金涛;孙坚
中国计量大学机电工程学院,浙江杭州 310018||中国计量科学研究院热工计量科学研究所,北京 100029中国计量科学研究院热工计量科学研究所,北京 100029中国计量科学研究院热工计量科学研究所,北京 100029中国计量科学研究院热工计量科学研究所,北京 100029中国计量大学机电工程学院,浙江杭州 310018
温度测量芯片研制金刚石NV色心微纳米尺度小型化
temperature measurementchip developmentNV-centers in diamondmicro-nano meter scaleminiaturization
《计量学报》 2024 (9)
1262-1272,11
中国计量科学研究院重点领域基本科研业务费项目(AKYZD2209-1)中国博士后科学基金(2021M703049)
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