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基于磁控溅射的Pt/PtRh高温薄膜热电偶传感器集成工艺

张文琦 沈统 王林斌 赵未昀 邓元

材料工程2024，Vol.52Issue(9)：P.27-33,7.
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材料工程2024，Vol.52Issue(9)：P.27-33,7.DOI:10.11868/j.issn.1001-4381.2023.000496

基于磁控溅射的Pt/PtRh高温薄膜热电偶传感器集成工艺

张文琦 1沈统 2王林斌 1赵未昀 1邓元3

作者信息

  • 1. 北京航空航天大学杭州创新研究院浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室,杭州310052
  • 2. 北京航空航天大学前沿科学技术创新研究院,北京100083
  • 3. 北京航空航天大学杭州创新研究院浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室,杭州310052 北京航空航天大学前沿科学技术创新研究院,北京100083
  • 折叠

摘要

关键词

高温薄膜热电偶/铂-铂铑热电偶/塞贝克效应/氧化铝绝缘层/氧化硅绝缘层

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张文琦,沈统,王林斌,赵未昀,邓元..基于磁控溅射的Pt/PtRh高温薄膜热电偶传感器集成工艺[J].材料工程,2024,52(9):P.27-33,7.

基金项目

国家科技重大专项(J2019-Ⅶ-0008-0148) （J2019-Ⅶ-0008-0148）

浙江省重点研发计划(2021C05002) （2021C05002）

浙江省领军型创新创业团队项目(2020R01007) （2020R01007）

国家自然科学基金(52102202)。 （52102202）

材料工程

OA北大核心CSTPCD

1001-4381

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