东北石油大学学报2024,Vol.48Issue(4):P.111-120,I0008,11.DOI:10.3969/j.issn.2095-4107.2024.04.009
基于集成谐振及干涉效应的温度自补偿薄膜厚度检测方法
摘要
关键词
微纳光纤/MLR/F-P干涉/薄膜厚度/温度自补偿/光谱分析分类
数理科学引用本文复制引用
孙雨,刘伟,姜春雷,陈朋,王园春..基于集成谐振及干涉效应的温度自补偿薄膜厚度检测方法[J].东北石油大学学报,2024,48(4):P.111-120,I0008,11.基金项目
海南省科技厅重点研发项目(ZDYF2022SHFZ047)。 (ZDYF2022SHFZ047)