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基于集成谐振及干涉效应的温度自补偿薄膜厚度检测方法

孙雨 刘伟 姜春雷 陈朋 王园春

东北石油大学学报2024,Vol.48Issue(4):P.111-120,I0008,11.
东北石油大学学报2024,Vol.48Issue(4):P.111-120,I0008,11.DOI:10.3969/j.issn.2095-4107.2024.04.009

基于集成谐振及干涉效应的温度自补偿薄膜厚度检测方法

孙雨 1刘伟 2姜春雷 2陈朋 2王园春3

作者信息

  • 1. 东北石油大学提高油气采收率教育部重点实验室,黑龙江大庆163318 东北石油大学三亚海洋油气研究院,海南三亚572025 东北石油大学电气信息工程学院,黑龙江大庆163318
  • 2. 东北石油大学三亚海洋油气研究院,海南三亚572025 东北石油大学电气信息工程学院,黑龙江大庆163318
  • 3. 东北石油大学三亚海洋油气研究院,海南三亚572025
  • 折叠

摘要

关键词

微纳光纤/MLR/F-P干涉/薄膜厚度/温度自补偿/光谱分析

分类

数理科学

引用本文复制引用

孙雨,刘伟,姜春雷,陈朋,王园春..基于集成谐振及干涉效应的温度自补偿薄膜厚度检测方法[J].东北石油大学学报,2024,48(4):P.111-120,I0008,11.

基金项目

海南省科技厅重点研发项目(ZDYF2022SHFZ047)。 (ZDYF2022SHFZ047)

东北石油大学学报

OA北大核心CSTPCD

2095-4107

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