表面技术2024，Vol.53Issue(19)：P.223-231,9.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.19.021
不同阴极材料对PS-PVD等离子射流的影响
姜在龙 1何箐 1张雨生 1赵乾2
作者信息
- 1. 中国农业机械化科学研究院集团有限公司,北京100083 北京金轮坤天特种机械有限公司,北京100083
- 2. 北京金轮坤天特种机械有限公司,北京100083
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摘要
关键词
等离子物理气相沉积/大功率等离子喷枪/阴极材料/等离子射流/光学发射光谱仪分类
矿业与冶金引用本文复制引用
姜在龙,何箐,张雨生,赵乾..不同阴极材料对PS-PVD等离子射流的影响[J].表面技术,2024,53(19):P.223-231,9.
