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沉积压力对石墨共溅射沉积(AlTiVCrNb)CxNy涂层结构及摩擦学性能的影响

张英豪 侯雪滨 蔡海潮 薛玉君 裴露露 田昌龄

表面技术2024,Vol.53Issue(19):P.61-69,140,10.
表面技术2024,Vol.53Issue(19):P.61-69,140,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.19.006

沉积压力对石墨共溅射沉积(AlTiVCrNb)CxNy涂层结构及摩擦学性能的影响

张英豪 1侯雪滨 2蔡海潮 3薛玉君 1裴露露 4田昌龄4

作者信息

  • 1. 河南科技大学机电工程学院,河南洛阳471003 河南省机械设计及传动系统重点实验室,河南洛阳471003 高端轴承河南省协同创新中心,河南洛阳471003
  • 2. 高端轴承河南省协同创新中心,河南洛阳471003 漯河技师学院机械工程系,河南漯河462000
  • 3. 河南科技大学机电工程学院,河南洛阳471003 高端轴承河南省协同创新中心,河南洛阳471003
  • 4. 河南科技大学机电工程学院,河南洛阳471003
  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射/沉积压力/(AlTiVCrNb)CxNy涂层/摩擦学性能

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

张英豪,侯雪滨,蔡海潮,薛玉君,裴露露,田昌龄..沉积压力对石墨共溅射沉积(AlTiVCrNb)CxNy涂层结构及摩擦学性能的影响[J].表面技术,2024,53(19):P.61-69,140,10.

基金项目

国家重点研发计划(2021YFB3400401) (2021YFB3400401)

河南省科技攻关项目(232102220047)。 (232102220047)

表面技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3660

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