表面技术2024,Vol.53Issue(19):P.61-69,140,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.19.006
沉积压力对石墨共溅射沉积(AlTiVCrNb)CxNy涂层结构及摩擦学性能的影响
摘要
关键词
磁控溅射/沉积压力/(AlTiVCrNb)CxNy涂层/摩擦学性能分类
矿业与冶金引用本文复制引用
张英豪,侯雪滨,蔡海潮,薛玉君,裴露露,田昌龄..沉积压力对石墨共溅射沉积(AlTiVCrNb)CxNy涂层结构及摩擦学性能的影响[J].表面技术,2024,53(19):P.61-69,140,10.基金项目
国家重点研发计划(2021YFB3400401) (2021YFB3400401)
河南省科技攻关项目(232102220047)。 (232102220047)