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开态应力下氮化镓HEMT器件的退化机理研究

韩红波 张豪 郑雪峰 马晓华 于洪喜 郝跃

空间电子技术2024，Vol.21Issue(5)：P.62-67,6.
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空间电子技术2024，Vol.21Issue(5)：P.62-67,6.DOI:10.3969/j.issn.1674-7135.2024.05.009

开态应力下氮化镓HEMT器件的退化机理研究

韩红波 1张豪 2郑雪峰 2马晓华 2于洪喜 3郝跃2

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子学院,西安710071 中国空间技术研究院西安分院,西安710000
  • 2. 西安电子科技大学微电子学院,西安710071
  • 3. 中国空间技术研究院西安分院,西安710000
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摘要

关键词

氮化镓/开态应力/热电子效应/电子俘获/可靠性

分类

航空航天

引用本文复制引用

韩红波,张豪,郑雪峰,马晓华,于洪喜,郝跃..开态应力下氮化镓HEMT器件的退化机理研究[J].空间电子技术,2024,21(5):P.62-67,6.

基金项目

国家自然科学基金项目(编号:U2241220)。 （编号:U2241220）

空间电子技术

1674-7135

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