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无机薄膜组织结构及应力演化行为研究现状

刘怀远 李佳临 魏龙君 马东林 冷永祥

表面技术2024，Vol.53Issue(19)：P.1-13,13.
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表面技术2024，Vol.53Issue(19)：P.1-13,13.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.19.001

无机薄膜组织结构及应力演化行为研究现状

刘怀远 1李佳临 1魏龙君 1马东林 2冷永祥1

作者信息

  • 1. 西南交通大学医学院,成都610031 西南交通大学材料科学与工程学院,成都610031 西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室,成都610031
  • 2. 成都师范学院物理与工程学院,成都611130
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摘要

关键词

无机薄膜/物理气相沉积技术/时效/应力演化/稳定性

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

刘怀远,李佳临,魏龙君,马东林,冷永祥..无机薄膜组织结构及应力演化行为研究现状[J].表面技术,2024,53(19):P.1-13,13.

基金项目

国家自然科学基金(52072312)。 （52072312）

表面技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3660

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