宽频段振动干扰不敏感的白光干涉测量OA北大核心CSTPCD
White-light interferometry immune to vibration disturbance over wide frequency region
传统白光干涉测量方法对振动干扰非常敏感,振动干扰会引起扫描步长误差,进而降低白光干涉的测量精度.为抑制振动干扰的影响,提出一种三点反正弦的白光干涉测量算法.三点反正弦法将干涉图序列中每相邻三幅分为一组,利用扫描过程中干涉条纹连续移动的特点,从每组干涉图的有效条纹区域计算出相移偏差,进而得到每幅干涉图的实际扫描步长.基于计算的实际扫描步长,构建了非等步长的调制度与相位最小二乘计算方法,并重构表面高度.由于计算步长仅利用三幅干涉图,三点反正弦法频段响…查看全部>>
The traditional white-light interferometer is highly sensitive to vibrations,causing scanning step errors and reducing measurement accuracy.To address this,a three-point arcsine(3P-Asin)algorithm is proposed.This method divides WLI interferograms into groups of three adjacent frames,with overlap be-tween groups.By analyzing fringe movement,the phase shift deviation and exact scanning step are deter-mined.Using this step,a least-squares method calculates phas…查看全部>>
刘乾;密乐;黄小津
中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621999中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621999中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621999
机械工程
表面形貌测量白光干涉测量粗糙度振动
topography measurementwhite-light interferometryroughnessvibration
《光学精密工程》 2024 (17)
2625-2634,10
国防科工局技术基础科研项目(No.JSZL2022212B001)
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