基于激光干涉的多轴运动平台垂直度测量OA北大核心CSTPCD
Perpendicularity measurement of multi-axis motion platform based on laser interferometry
测量垂直度误差的常用方法有实物量具法、体积测量法、CCD测量法、平面光栅测量法、激光跟踪仪测量法和激光干涉仪测量法等,这几种方法普遍存在操作不简便,使用成本高或无法实现在线测量等缺点.为此,提出了一种基于激光干涉仪原理的多轴运动平台垂直度在线测量方法,利用激光器、五角分光棱镜、五角棱镜、直线度干涉镜、直线度反射镜等组件构建了一种多轴激光干涉垂直度测量装置.通过光路设计,可以将此装置搭建于被测多轴运动平台上,从而实现高效率、高精度的垂直度在线测量.…查看全部>>
Perpendicularity error is a critical geometric error in multi-axis motion platforms,indicating the vertical deviation of machine tool components during movement.This deviation significantly affects spatial positioning errors,particularly as the stroke length of the moving axis increases.Various methods exist for measuring perpendicularity error,including physical gauges,volumetric measurements,CCD measure-ments,planar gratings,laser trackers,and laser interf…查看全部>>
罗凯元;郑文炜;杨霖
工业和信息化电子第五研究所 计量检测中心,广东 广州 511370工业和信息化电子第五研究所 计量检测中心,广东 广州 511370工业和信息化电子第五研究所 计量检测中心,广东 广州 511370
计量学激光干涉仪垂直度多轴
metrologylaser interferometryperpendicularitymulti-axis
《光学精密工程》 2024 (17)
2654-2662,9
国家重点研发计划项目(No.2022YFF0606000)
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