100mm×100mm液相外延碲镉汞薄膜技术进展OA北大核心CSTPCD
Progress in LPE Growth of HgCdTe Film at 100mm×100mm
昆明物理研究所突破了φ150 mm碲锌镉单晶定向生长技术,实现了 100 mm×100 mm碲锌镉衬底的小批量制备,位错腐蚀坑密度(EPD)≤4×104 cm-2,沉积相尺寸小于 5 μm、沉积相密度小于 5×103 cm-2.突破了大尺寸碲锌镉衬底表面处理以及大面积富碲水平推舟液相外延技术,实现了100 mm×100 mm 大尺寸短波、中波碲镉汞薄膜材料的制备,薄膜表面质量优异,厚度极差优于±1.25 μm,组分极差优于±0.0031,是目前国…查看全部>>
The Kunming Institute of Physics has achieved significant advancements in the directional growth technology of φ150 mm cadmium zinc telluride(CZT)single crystals,thus enabling the small-scale production of 100 mm×100 mm CZT substrates.The dislocation etch pit density(EPD)is≤4×104cm-2,with precipitate dimensions of<5 μm and a density of<5×103cm-2.In addition,100 mm×100 mm large-area mercury cadium telluride(MCT)thin films were successfully prepared via …查看全部>>
邓文斌;许江明;杨翔;朱逊;郑要争;姬荣斌;宋林伟;孔金丞;姜军;杨晋;起文斌;万志远;刘燕;荣徽宇
昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223昆明物理研究所,云南 昆明 650223
电子信息工程
液相外延100mm×100mm碲锌镉碲镉汞
liquid phase epitaxy(LPE)100mm×100mmCdZnTeHgCdTe
《红外技术》 2024 (10)
1172-1177,6
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