离子束抛光去除函数的在位快速计算与抛光实验OA北大核心CSTPCD
目的基于BP神经网络使用法拉第杯扫描离子束流实现离子束抛光去除函数的在位快速计算。方法对于空间分布不同的离子束流,通过法拉第杯扫描方法获得电流密度分布信息,通过刻蚀实验计算去除函数分布信息,使用BP神经网络对电流密度和去除函数分布之间的关系进行拟合,建立基于BP神经网络计算去除函数的模型。使用该模型可以实现对去除函数的在位快速计算,并应用于光学元件的离子束抛光实验中。结果利用上述方法建立的BP神经网络模型计算的去除函数体积去除率和实验方法获得的去…查看全部>>
张旭;王大森;夏超翔;郭海林;黄思玲;赵仕燕;聂凤明
中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103中国兵器科学研究院宁波分院,浙江宁波315103
机械工程
离子束抛光去除函数半高全宽BP神经网络法拉第扫描融石英
《表面技术》 2024 (20)
P.158-165,8
浙江省自然科学基金(LY23E050006)所列基金(YQJJ2023-05)宁波市自然科学基金重点项目(2022J317)。
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