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钽掺杂含量对类金刚石薄膜力学性能及生物相容性的影响

李东昕 王静静 宓保森 马迅 陈天驹 刘平 李伟

表面技术2024，Vol.53Issue(20)：P.208-222,15.
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表面技术2024，Vol.53Issue(20)：P.208-222,15.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.20.019

钽掺杂含量对类金刚石薄膜力学性能及生物相容性的影响

李东昕 1王静静 1宓保森 1马迅 1陈天驹 1刘平 1李伟1

作者信息

  • 1. 上海理工大学材料与化学学院,上海200093
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摘要

关键词

类金刚石薄膜/磁控溅射/钽掺杂/摩擦磨损性能/生物相容性

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

李东昕,王静静,宓保森,马迅,陈天驹,刘平,李伟..钽掺杂含量对类金刚石薄膜力学性能及生物相容性的影响[J].表面技术,2024,53(20):P.208-222,15.

基金项目

国家自然科学基金(51971148)。 （51971148）

表面技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3660

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