桂林电子科技大学学报2024，Vol.44Issue(3)：P.316-322,7.DOI:10.16725/j.1673-808X.2024160
厚度对Cu/HfO_(2)/ITO器件阻变特性的影响
摘要
关键词
二氧化铪薄膜/薄膜厚度/阻变特性/磁控溅射/传导机制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李琳琳,何木芬,吴枚霞,马垒,袁昌来..厚度对Cu/HfO_(2)/ITO器件阻变特性的影响[J].桂林电子科技大学学报,2024,44(3):P.316-322,7.基金项目
广西自然科学基金(2023GXNSFAA026382) （2023GXNSFAA026382）
广西科技计划项目(AB22080062) （AB22080062）
GDAS科技发展项目(2021GDASYL-20210102011) （2021GDASYL-20210102011）
广西信息材料重点实验室基金(221009-Z)。 （221009-Z）
