轻工机械2024，Vol.42Issue(5)：P.10-19,10.DOI:10.3969/j.issn.1005-2895.2024.05.002
硅片盒喷雾清洗装置设计
摘要
关键词
硅片盒/喷雾清洗装置/雾化/喷嘴/流体仿真分类
机械制造引用本文复制引用
葛正浩,杨昊,李理想,李杰,蔡永礼..硅片盒喷雾清洗装置设计[J].轻工机械,2024,42(5):P.10-19,10.基金项目
安徽省科技重大专项项目:面向新一代超声诊疗的高性能MEMS换能器芯片关键技术研究(2022e0302002)。 （2022e0302002）
