传感技术学报2024，Vol.37Issue(10)：P.1692-1699,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2024.10.005
基于双面多级微结构的柔性电容式压力传感器
摘要
关键词
电容式压力传感器/双面微结构/多级微结构/人体行为监测分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄梁松,王硕,张鹏,张坤,杜明超,黄鑫,步晓飞..基于双面多级微结构的柔性电容式压力传感器[J].传感技术学报,2024,37(10):P.1692-1699,8.基金项目
国家自然科学基金重大研究计划项目(91848206)。 （91848206）
