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面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究

赵明亮 邢思雨 唐雯 张钰如 高飞 王友年

物理学报2024，Vol.73Issue(21)：P.167-176,10.
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物理学报2024，Vol.73Issue(21)：P.167-176,10.DOI:10.7498/aps.73.20240952

面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究

赵明亮 1邢思雨 1唐雯 1张钰如 1高飞 1王友年1

作者信息

  • 1. 大连理工大学物理学院,三束材料改性教育部重点实验室,大连116024
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摘要

关键词

感性耦合等离子体/三维流体模拟/等离子体均匀性/线圈形状

分类

数理科学

引用本文复制引用

赵明亮,邢思雨,唐雯,张钰如,高飞,王友年..面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究[J].物理学报,2024,73(21):P.167-176,10.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:11935005)资助的课题。 （批准号:11935005）

物理学报

OA北大核心CSTPCD

1000-3290

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