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基于误差函数相位偏移的电场式时栅角位移传感器自标定

于治成 黎自豪 蒲红吉 吴昶亮 展丙男

光学精密工程2024，Vol.32Issue(18)：P.2803-2813,11.
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光学精密工程2024，Vol.32Issue(18)：P.2803-2813,11.DOI:10.37188/OPE.20243218.2803

基于误差函数相位偏移的电场式时栅角位移传感器自标定

于治成 1黎自豪 1蒲红吉 1吴昶亮 2展丙男2

作者信息

  • 1. 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆400054
  • 2. 北京理工大学机械与车辆学院,北京100081
  • 折叠

摘要

关键词

电场式/角位移传感器/自标定/误差移相/谐波分量

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

于治成,黎自豪,蒲红吉,吴昶亮,展丙男..基于误差函数相位偏移的电场式时栅角位移传感器自标定[J].光学精密工程,2024,32(18):P.2803-2813,11.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.62103069) （No.62103069）

重庆市教委科学技术研究项目资助(No.KJQN202101121) （No.KJQN202101121）

国家自然科学基金重点项目资助(No.51935004)。 （No.51935004）

光学精密工程

OA北大核心CSTPCD

1004-924X

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