|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|分析测试学报|Al_(2)O_(3)对Ti膜离子注入表面损伤及D滞留量的影响研究

Al_(2)O_(3)对Ti膜离子注入表面损伤及D滞留量的影响研究

胡江钰 范宇 梁参军 郝丽娟 刘朝伟 宋勇

分析测试学报2024，Vol.43Issue(10)：P.1664-1668,5.
✕
分析测试学报2024，Vol.43Issue(10)：P.1664-1668,5.DOI:10.12452/j.fxcsxb.240905375

Al_(2)O_(3)对Ti膜离子注入表面损伤及D滞留量的影响研究

胡江钰 1范宇 2梁参军 3郝丽娟 3刘朝伟 4宋勇5

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学研究生院科学岛分院,安徽合肥230026 中国科学院合肥物质科学研究院,安徽合肥230031
  • 2. 山东大学能源与动力工程学院,山东济南250061 中科石金(安徽)中子技术有限公司,安徽合肥230031
  • 3. 中科石金(安徽)中子技术有限公司,安徽合肥230031 中子科学国际研究院,山东青岛266199 山东省中子科学技术重点实验室,山东青岛266199
  • 4. 中科石金(安徽)中子技术有限公司,安徽合肥230031 中子科学国际研究院,山东青岛266199
  • 5. 中国科学院合肥物质科学研究院,安徽合肥230031 山东大学能源与动力工程学院,山东济南250061 中子科学国际研究院,山东青岛266199
  • 折叠

摘要

关键词

中子管靶/Ti膜/Al_(2)O_(3)保护层/离子注入/D滞留量

分类

数理科学

引用本文复制引用

胡江钰,范宇,梁参军,郝丽娟,刘朝伟,宋勇..Al_(2)O_(3)对Ti膜离子注入表面损伤及D滞留量的影响研究[J].分析测试学报,2024,43(10):P.1664-1668,5.

基金项目

国家重点研发计划(2023YFF0717000) （2023YFF0717000）

泰山产业创新领军人才项目(tscx202408142)。 （tscx202408142）

分析测试学报

OA北大核心CSTPCD

1004-4957

访问量5
|
下载量0
段落导航相关论文