太赫兹科学与电子信息学报2024,Vol.22Issue(10):P.1161-1167,7.DOI:10.11805/TKYDA2023058
具有阈值可调功能的磁自锁MEMS惯性开关
王欣玥 1李严军 1屈明山 1熊壮1
作者信息
- 1. 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621999
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摘要
关键词
微惯性开关/低g值开关/阈值可调/电磁执行器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王欣玥,李严军,屈明山,熊壮..具有阈值可调功能的磁自锁MEMS惯性开关[J].太赫兹科学与电子信息学报,2024,22(10):P.1161-1167,7.