原子与分子物理学报2025，Vol.42Issue(6)：P.113-121,9.DOI:10.19855/j.1000-0364.2025.063001
离子束抛光对单晶硅表面质量影响的分子动力学模拟研究
赵仕燕 1郭海林 1黄思玲 1张旭 1夏超翔 1王大森 1聂凤明 1裴宁 1李晓静1
作者信息
- 1. 中国兵器科学研究院宁波分院,宁波315103
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摘要
关键词
离子束抛光/表面质量/分子动力学/单晶硅/加工角度分类
机械工程引用本文复制引用
赵仕燕,郭海林,黄思玲,张旭,夏超翔,王大森,聂凤明,裴宁,李晓静..离子束抛光对单晶硅表面质量影响的分子动力学模拟研究[J].原子与分子物理学报,2025,42(6):P.113-121,9.
