真空电子技术Issue(5)：P.9-17,9.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2024.05.02
大尺寸金刚石晶圆复制技术研究进展
摘要
关键词
晶圆复制/大尺寸金刚石/激光隐形切割/离子注入分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘金龙,刘宇鹏,赵子辰,王鹏,叶盛,王晟,魏俊俊,陈良贤,张建军,李成明..大尺寸金刚石晶圆复制技术研究进展[J].真空电子技术,2024,(5):P.9-17,9.基金项目
国家重点研发计划(2022YFB3608600)。 （2022YFB3608600）
