真空电子技术Issue(5)：P.1-8,8.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2024.05.01
基于激光加工的横向外延单晶金刚石缺陷密度调控研究
摘要
关键词
金刚石/缺陷密度/激光加工/横向外延分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
文东岳,刘本建,赵继文,郝晓斌,张森,张宇民,代兵,李一村,朱嘉琦..基于激光加工的横向外延单晶金刚石缺陷密度调控研究[J].真空电子技术,2024,(5):P.1-8,8.基金项目
哈工大原创前沿探索基金(HIT.OCEF.2022048) （HIT.OCEF.2022048）
郑州市重大科技专项项目(2021KJZX0062) （2021KJZX0062）
河南省重大科技专项项目(221100230300) （221100230300）
自然科学基金(52072087,52102039) （52072087,52102039）
国家重点研发计划(2020YFA0709700) （2020YFA0709700）
国家磁约束核聚变能发展研究专项(2019YFE03100200) （2019YFE03100200）
广东省重点领域研发计划项目(2020B010169002)。 （2020B010169002）
