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金刚石半导体及功率肖特基二极管研究进展和挑战

王启亮 张羿明 李根壮 李柳暗 成绍恒 吕宪义 李红东 邹广田

真空电子技术Issue(5):P.18-28,11.
真空电子技术Issue(5):P.18-28,11.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2024.05.03

金刚石半导体及功率肖特基二极管研究进展和挑战

王启亮 1张羿明 1李根壮 1李柳暗 1成绍恒 2吕宪义 1李红东 2邹广田1

作者信息

  • 1. 吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室,吉林长春130012 吉林大学深圳研究院,广东深圳518057
  • 2. 吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室,吉林长春130012
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石/外延生长/位错调控/掺杂技术/功率器件设计

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王启亮,张羿明,李根壮,李柳暗,成绍恒,吕宪义,李红东,邹广田..金刚石半导体及功率肖特基二极管研究进展和挑战[J].真空电子技术,2024,(5):P.18-28,11.

基金项目

吉林省自然科学基金(20240101313JC)。 (20240101313JC)

真空电子技术

1002-8935

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