新一代信息技术2023,Vol.6Issue(17):P.25-31,7.DOI:10.3969/j.issn.2096-6091.2023.17.004
洁净控制与静电防护数字化平台建设
贺艳萍 1邹来发 2冉竟羽3
作者信息
- 1. 深圳自动化学会,广东深圳518052
- 2. 深圳市中明科技股份有限公司,广东深圳518103
- 3. 河北东方学院人工智能学院,河北廊坊065001
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摘要
关键词
洁净控制/静电传感/静电防护/物联网/数字系统分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
贺艳萍,邹来发,冉竟羽..洁净控制与静电防护数字化平台建设[J].新一代信息技术,2023,6(17):P.25-31,7.