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洁净控制与静电防护数字化平台建设

贺艳萍 邹来发 冉竟羽

新一代信息技术2023,Vol.6Issue(17):P.25-31,7.
新一代信息技术2023,Vol.6Issue(17):P.25-31,7.DOI:10.3969/j.issn.2096-6091.2023.17.004

洁净控制与静电防护数字化平台建设

贺艳萍 1邹来发 2冉竟羽3

作者信息

  • 1. 深圳自动化学会,广东深圳518052
  • 2. 深圳市中明科技股份有限公司,广东深圳518103
  • 3. 河北东方学院人工智能学院,河北廊坊065001
  • 折叠

摘要

关键词

洁净控制/静电传感/静电防护/物联网/数字系统

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

贺艳萍,邹来发,冉竟羽..洁净控制与静电防护数字化平台建设[J].新一代信息技术,2023,6(17):P.25-31,7.

新一代信息技术

2096-6091

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