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金刚石/GaN异质外延与键合技术研究进展

吴海平 安康 许光宇 张亚琛 李利军 张永康 李鸿 张旭芳 刘峰斌 李成明

表面技术2024,Vol.53Issue(22):P.50-61,12.
表面技术2024,Vol.53Issue(22):P.50-61,12.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.22.004

金刚石/GaN异质外延与键合技术研究进展

吴海平 1安康 1许光宇 1张亚琛 1李利军 1张永康 1李鸿 1张旭芳 2刘峰斌 1李成明3

作者信息

  • 1. 北方工业大学机械与材料工程学院,北京100144
  • 2. 北方工业大学信息学院,北京100144
  • 3. 北京科技大学新材料技术研究院,北京100083
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石/氮化镓/热管理/钝化层/键合界面/异质外延

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

吴海平,安康,许光宇,张亚琛,李利军,张永康,李鸿,张旭芳,刘峰斌,李成明..金刚石/GaN异质外延与键合技术研究进展[J].表面技术,2024,53(22):P.50-61,12.

基金项目

国家自然科学基金(52102034,U23A2025) (52102034,U23A2025)

北方工业大学有组织科研(2023YZZKY12) (2023YZZKY12)

北方工业大学研究生教育教学改革研究项目(YJS2024JG16)。 (YJS2024JG16)

表面技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3660

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