表面技术2024,Vol.53Issue(22):P.50-61,12.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.22.004
金刚石/GaN异质外延与键合技术研究进展
摘要
关键词
金刚石/氮化镓/热管理/钝化层/键合界面/异质外延分类
通用工业技术引用本文复制引用
吴海平,安康,许光宇,张亚琛,李利军,张永康,李鸿,张旭芳,刘峰斌,李成明..金刚石/GaN异质外延与键合技术研究进展[J].表面技术,2024,53(22):P.50-61,12.基金项目
国家自然科学基金(52102034,U23A2025) (52102034,U23A2025)
北方工业大学有组织科研(2023YZZKY12) (2023YZZKY12)
北方工业大学研究生教育教学改革研究项目(YJS2024JG16)。 (YJS2024JG16)