工业和信息化教育Issue(11)：P.81-84,4.
基于集成电路工艺实验教学仿真平台的“微电子器件工艺实验”课程探索研究
摘要
关键词
集成电路/集成电路工艺/微电子器件/器件工艺/教学仿真分类
社会科学引用本文复制引用
孙辉..基于集成电路工艺实验教学仿真平台的“微电子器件工艺实验”课程探索研究[J].工业和信息化教育,2024,(11):P.81-84,4.基金项目
2022年四川省一流本科课程建设项目“GaAs器件制造测试一体化虚拟仿真实验”(项目编号:2023YLKC45) （项目编号:2023YLKC45）
2020年四川省产教融合示范项目“成信大—中国网安电子信息产业产教融合综合示范建设”(项目编号:川教函〔2020〕575号)。 （项目编号:川教函〔2020〕575号）
