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硅片表面线痕测试方法的研究与实现

尹昊

中国新技术新产品Issue(21)：P.55-57,3.
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中国新技术新产品Issue(21)：P.55-57,3.

硅片表面线痕测试方法的研究与实现

尹昊1

作者信息

  • 1. 长沙职业技术学院,湖南长沙410217
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摘要

关键词

移动平均法/高斯分布平均法/线痕

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

尹昊..硅片表面线痕测试方法的研究与实现[J].中国新技术新产品,2024,(21):P.55-57,3.

中国新技术新产品

1673-9957

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