金刚石与磨料磨具工程2024，Vol.44Issue(5)：P.675-684,10.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0246
单晶碳化硅电化学机械抛光液的组分设计与优化
摘要
关键词
单晶碳化硅/电化学氧化/抛光液成分/表面粗糙度/材料去除率分类
矿业与冶金引用本文复制引用
顾志斌,王浩祥,宋鑫,康仁科,高尚..单晶碳化硅电化学机械抛光液的组分设计与优化[J].金刚石与磨料磨具工程,2024,44(5):P.675-684,10.基金项目
国家重点研发计划(2022YFB3404304) （2022YFB3404304）
国家自然科学基金(51975091,51991372) （51975091,51991372）
河南省科技重大专项(221100230100)。 （221100230100）
