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不同溅射技术制备MoN涂层的结构、力学和摩擦学性能研究

金玉花 张亨中 王鹏 赵晓宇 柴利强 马鹏军 于童童 张贝贝

表面技术2024，Vol.53Issue(21)：P.121-132,12.
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表面技术2024，Vol.53Issue(21)：P.121-132,12.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.21.013

不同溅射技术制备MoN涂层的结构、力学和摩擦学性能研究

金玉花 1张亨中 2王鹏 3赵晓宇 3柴利强 3马鹏军 3于童童 3张贝贝3

作者信息

  • 1. 兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室,兰州730050
  • 2. 兰州理工大学省部共建有色金属先进加工与再利用国家重点实验室,兰州730050 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730030
  • 3. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,兰州730030
  • 折叠

摘要

关键词

MoN涂层/溅射电源/微观结构/力学性能/高温摩擦学

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

金玉花,张亨中,王鹏,赵晓宇,柴利强,马鹏军,于童童,张贝贝..不同溅射技术制备MoN涂层的结构、力学和摩擦学性能研究[J].表面技术,2024,53(21):P.121-132,12.

基金项目

国家自然科学基金青年项目(52005483,52205235) （52005483,52205235）

甘肃省青年科技基金(20JR10RA058) （20JR10RA058）

LICP青年创新联盟合作基金(HZJJ23-7)。 （HZJJ23-7）

表面技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3660

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