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基于四波横向剪切干涉的表面形貌测量方法

董正琼 黄贤文 徐仁 祝仁龙 周向东 聂磊

激光技术2024，Vol.48Issue(6)：P.906-912,7.
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激光技术2024，Vol.48Issue(6)：P.906-912,7.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.06.017

基于四波横向剪切干涉的表面形貌测量方法

董正琼 1黄贤文 1徐仁 1祝仁龙 1周向东 1聂磊2

作者信息

  • 1. 湖北工业大学机械工程学院、现代制造质量工程湖北省重点实验室,武汉430068
  • 2. 湖北工业大学机械工程学院、现代制造质量工程湖北省重点实验室,武汉430068 襄阳湖北工业大学产业研究院,襄阳441100
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摘要

关键词

测量与计量/表面形貌测量/四波横向剪切干涉/空间光调制器/光程差重建

分类

数理科学

引用本文复制引用

董正琼,黄贤文,徐仁,祝仁龙,周向东,聂磊..基于四波横向剪切干涉的表面形貌测量方法[J].激光技术,2024,48(6):P.906-912,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(51975191) （51975191）

湖北省科技创新人才基金资助项目(2023DJC048)。 （2023DJC048）

激光技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3806

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