激光技术2024，Vol.48Issue(6)：P.913-921,9.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.06.018
基于CBDC优化超声辅助水下激光切割单晶硅的工艺
摘要
关键词
激光技术/超声辅助/水下激光切割/空化气泡/工艺优化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
周嘉,周辽,欧阳励,焦辉,黄宇星,龙芋宏..基于CBDC优化超声辅助水下激光切割单晶硅的工艺[J].激光技术,2024,48(6):P.913-921,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(62274045,62364008,52165056) （62274045,62364008,52165056）
中国博士后科学基金资助项目(2023MD734164) （2023MD734164）
广西科技基地和人才专项基金资助项目(2021AC18026) （2021AC18026）
广西研究生教育创新计划资助项目(YCSW2022287,YCBZ2022114) （YCSW2022287,YCBZ2022114）
广西中青年科研基础能力提升项目(2022KY0178,2022KY0201) （2022KY0178,2022KY0201）
广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任基金资助项目(22-35-4-S014)。 （22-35-4-S014）
