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基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵

马鹏飞 于磊 王政 王鹏飞 张冶金 潘教青

激光技术2024，Vol.48Issue(6)：P.832-837,6.
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激光技术2024，Vol.48Issue(6)：P.832-837,6.DOI:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.06.008

基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵

马鹏飞 1于磊 1王政 1王鹏飞 1张冶金 1潘教青1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所光电子材料与器件重点实验室,北京100083 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京100049
  • 折叠

摘要

关键词

集成光学/衍射/光栅/光学相控阵

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

马鹏飞,于磊,王政,王鹏飞,张冶金,潘教青..基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵[J].激光技术,2024,48(6):P.832-837,6.

基金项目

国家重点研发计划资助项目(2022YFB2804503) （2022YFB2804503）

国家自然科学基金资助项目(62090053,61934007,62105324)。 （62090053,61934007,62105324）

激光技术

OA北大核心CSTPCD

1001-3806

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