重庆工商大学学报（自然科学版）2024，Vol.41Issue(6)：P.39-48,10.DOI:10.16055/j.issn.1672-058X.2024.0006.005
基于深度学习的端到端掩模优化任务
摘要
关键词
掩模优化/光学邻近校正/深度学习/计算光刻分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
汤府鑫,徐辉..基于深度学习的端到端掩模优化任务[J].重庆工商大学学报（自然科学版）,2024,41(6):P.39-48,10.基金项目
国家自然科学基金项目资助(62027815,62274052,61404001)。 （62027815,62274052,61404001）
