理化检验（物理分册）2024，Vol.60Issue(11)：P.57-63,7.DOI:10.11973/lhjy-wl230324
离子束抛光仪的维护保养
蒋蓉蓉 1姚懿容 1李明 1管建敏 1卢焕明1
作者信息
- 1. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所测试中心,宁波315201
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摘要
关键词
离子束抛光仪/离子源/维护保养/试样制备/反沉积分类
通用工业技术引用本文复制引用
蒋蓉蓉,姚懿容,李明,管建敏,卢焕明..离子束抛光仪的维护保养[J].理化检验（物理分册）,2024,60(11):P.57-63,7.
