物理学报2024，Vol.73Issue(22)：P.130-138,9.DOI:10.7498/aps.73.20241245
用于超快扫描电子显微镜的光发射电子枪及电子光学模拟
摘要
关键词
光发射电子枪/超快扫描电子显微镜/电子光学/有限元分析方法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨冬,李中文,田源,孙帅帅,田焕芳,杨槐馨,李建奇..用于超快扫描电子显微镜的光发射电子枪及电子光学模拟[J].物理学报,2024,73(22):P.130-138,9.基金项目
国家自然科学基金(批准号:U22A6005,12074408,52271195) （批准号:U22A6005,12074408,52271195）
国家重点研发计划(批准号:2021YFA13011502) （批准号:2021YFA13011502）
中国科学院战略性先导科技专项(B)(批准号:XDB25000000,XDB33000000) （B）
中国科学院科学仪器研制项目(批准号:YJKYYQ20200055) （批准号:YJKYYQ20200055）
中国科学院物理研究所综合极端条件实验装置(SECUF) （SECUF）
北京市科技重大专项(批准号:Z201100001820006) （批准号:Z201100001820006）
中国科学院物理研究所百人计划(批准号:Y9K5051)资助的课题. （批准号:Y9K5051）
