传感技术学报2024，Vol.37Issue(11)：P.1841-1848,8.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2024.11.001
基于SAW-IDT无损表征互连薄膜杨氏模量的研究
摘要
关键词
声表面波技术/杨氏模量/无损检测/有限元/叉指换能器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄祎婷,肖夏,张立..基于SAW-IDT无损表征互连薄膜杨氏模量的研究[J].传感技术学报,2024,37(11):P.1841-1848,8.基金项目
国家自然科学基金项目(61571319)。 （61571319）
