传感技术学报2024，Vol.37Issue(11)：P.1849-1855,7.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2024.11.002
高性能双模式压电驱动氮化铝音叉型谐振器
摘要
关键词
微机电系统/质量传感器/有限元分析/微纳加工/压电驱动/氮化铝薄膜/音叉型谐振器/双模式分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
原毅,杨清瑞,张志强,李浩霖,石帅,牛鹏飞,李全宁,陈雪娇,张孟伦..高性能双模式压电驱动氮化铝音叉型谐振器[J].传感技术学报,2024,37(11):P.1849-1855,7.基金项目
国家重点研发计划项目(硅基压电薄膜及器件关键技术与平台)资助项目(2020YFB2008800)。 （硅基压电薄膜及器件关键技术与平台）
