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半导体器件内部缺陷标注与检测方法研究

白宇 王珺 冉红雷 安胜彪

计算机工程2024，Vol.50Issue(12)：P.245-253,9.
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计算机工程2024，Vol.50Issue(12)：P.245-253,9.DOI:10.19678/j.issn.1000-3428.0068712

半导体器件内部缺陷标注与检测方法研究

白宇 1王珺 1冉红雷 2安胜彪1

作者信息

  • 1. 河北科技大学信息科学与工程学院,河北石家庄050018
  • 2. 中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051 国家半导体器件质量检验检测中心,河北石家庄050051
  • 折叠

摘要

关键词

缺陷检测/语义分割/半自动标注/边缘位置增强/注意力机制/特征融合控制

分类

信息技术与安全科学

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白宇,王珺,冉红雷,安胜彪..半导体器件内部缺陷标注与检测方法研究[J].计算机工程,2024,50(12):P.245-253,9.

基金项目

国家自然科学基金(61902108) （61902108）

河北省自然科学基金(F2019208305)。 （F2019208305）

计算机工程

OA北大核心CSTPCD

1000-3428

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