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考虑等离子体屏蔽的TC21减阻沟槽激光烧蚀模型研究

高健 刘青川 范蕊 吴天赐 张力 王涛

机械科学与技术2024，Vol.43Issue(11)：P.1945-1953,9.
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机械科学与技术2024，Vol.43Issue(11)：P.1945-1953,9.DOI:10.13433/j.cnki.1003-8728.20240155

考虑等离子体屏蔽的TC21减阻沟槽激光烧蚀模型研究

高健 1刘青川 1范蕊 1吴天赐 2张力 2王涛1

作者信息

  • 1. 河北机电职业技术学院电气工程系,河北邢台054000
  • 2. 东北大学秦皇岛分校控制工程学院,河北秦皇岛066004
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摘要

关键词

激光烧蚀/等离子体屏蔽效应/减阻沟槽/数值模拟

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

高健,刘青川,范蕊,吴天赐,张力,王涛..考虑等离子体屏蔽的TC21减阻沟槽激光烧蚀模型研究[J].机械科学与技术,2024,43(11):P.1945-1953,9.

基金项目

国家自然科学基金项目(51905082) （51905082）

河北省教育厅高等学校科学技术研究基金项目(QN2018234)。 （QN2018234）

机械科学与技术

OA北大核心CSTPCD

1003-8728

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