表面技术2024，Vol.53Issue(24)：P.178-187,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2024.24.016
健那绿B平整剂对芯片互连钴的电沉积成核机理研究
摘要
关键词
钴/电子电镀/互连金属/集成电路/平整剂/薄膜技术分类
化学化工引用本文复制引用
王书鹏,薛彦鹏,范磊,潘盈卓,程洁,崔碧佳..健那绿B平整剂对芯片互连钴的电沉积成核机理研究[J].表面技术,2024,53(24):P.178-187,10.基金项目
国家自然科学基金(52075037) （52075037）
北京市自然科学基金(3222017) （3222017）
清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室开放基金(SKLTKF21A01)。 （SKLTKF21A01）
