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金刚石在富氧环境下的高效抛光及其材料去除机制研究

刘帅伟 关春龙 鲁云祥 易剑 江南 西村一仁

人工晶体学报2024，Vol.53Issue(12)：P.2094-2103,10.
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人工晶体学报2024，Vol.53Issue(12)：P.2094-2103,10.

金刚石在富氧环境下的高效抛光及其材料去除机制研究

刘帅伟 1关春龙 2鲁云祥 3易剑 3江南 3西村一仁3

作者信息

  • 1. 河南工业大学材料科学与工程学院,郑州450001 中国科学院宁波材料技术与工程研究所,海洋材料及相关技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,宁波315201
  • 2. 河南工业大学材料科学与工程学院,郑州450001
  • 3. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所,海洋材料及相关技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,宁波315201
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摘要

关键词

金刚石/抛光/富氧环境/材料去除率/去除机制/氧化

分类

数理科学

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刘帅伟,关春龙,鲁云祥,易剑,江南,西村一仁..金刚石在富氧环境下的高效抛光及其材料去除机制研究[J].人工晶体学报,2024,53(12):P.2094-2103,10.

基金项目

宁波市重大科技攻关项目(2021ZDYF020196,2021ZDYF020198)。 （2021ZDYF020196,2021ZDYF020198）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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