集美大学学报（自然科学版）2024，Vol.29Issue(6)：P.556-561,6.DOI:10.19715/j.jmuzr.2024.06.10
组合工艺提高ZrO_(2)薄膜阻变的稳定性研究
摘要
关键词
纳米屏蔽阵/等离子处理/阻变/ZrO_(2)/稳定性分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐文彬,任高潮..组合工艺提高ZrO_(2)薄膜阻变的稳定性研究[J].集美大学学报（自然科学版）,2024,29(6):P.556-561,6.基金项目
福建省自然科学基金项目“基于组合工艺调控氧空位分布的氧化钛阻变存储器研究”(2019J01717)。 （2019J01717）
